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真空系统可以抽哪些气体?

发布日期:2018-07-12

真空系统在应用中,被抽取的气体不仅包括工艺过程中的各种气体,还包括系统中原有的大气空气等。

1、真空系统工艺过程中产生的气体


它包括工艺过程中材料放出的气体以及工艺需要而引入的气体,同时真空系统中液体或固体蒸发的气体也包含其中。不同的工艺过程以及不同的被处理材料,这部分气体的量的计算都是不同的。


2、真空系统内原本存在的大气气体


真空系统中真空容器室、真空管路等,这些原本就含有一定量的大气气体成分,在抽气初期,它们是真空系统抽气的主要气体负荷,也是被系统最早抽走的。


3、真空系统中的泄漏气体


泄漏气体包括大气通过真空密封的连接处以及各种漏隙通道泄漏进入真空系统内部的气体。对于确定的真空系统来说,泄漏的气体量是一个常数。不同的真空系统应用、不同的极限压力,对泄漏气体的量也有严格的限制。


4、真空系统中各种材料表面解吸释放出来的气体


常压下,真空系统中的材料表面会吸附、溶解部分气体。在负压状态下,这部分气体会被重新释放出来。它的放气流量与材料性能、处理工艺以及材料表面状态有关。


5、真空系统外大气通过器壁材料渗透到系统内的气体

气体在固体中会发生溶解,渗透。因此大气通过容器壁结构材料会向真空系统内渗透部分气体。这种渗透在一般的金属系统下可以不考虑,但部分应用在玻璃真空系统等。

这几个方面就构成了真空系统的总的抽气负荷。

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